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박막 모듈 기판 단면 박리 장치

특징

연마제를 사용하지 않기 때문에 찌꺼기로는 박리된 박막만 발생.세정장치를 설치할 필요가 없음
진개가 급감하므로 클린룸 내에도 설치 가능
가공 시간의 대폭 단축을 실현

샌드블래스팅과의 비교

	레이저 박리	샌드블래스트+세정
점유 공간	공간 절약형	점유 공간이 크다.
점유 공간	공간 절약형	장치를 둘러싸고 분진의 비산을 억제할 필요가 있다.
세정	드라이 클리너 등으로 찌꺼기 회수	세정 공정이 필요하다.
막에 미치는 영향	박리부 이외의 막에 미치는 영향은 없다.	흩날린 연마제가 막 표면에 흠을 낼 수 있으며 모듈의 출력을 저하시킬 수 있다.
기타	유리 기판의 찌꺼기가 극히 적고 후처리가 용이	세정 후에도 연마제가 유리 표면에 남기 쉽고 라미네이트 공정에서 영향을 줄 수 있다.

사양 변경에 대한 대응

기판 크기 변경
제거 폭 변경
레이저 헤드 증설 등등

장치 기본 구성

레이저 시스템
반출ㆍ반입 컨베어
진공 펌프
냉각장치(Chiller)
집진기